• 该设备兼容多种不同型号成品模块检测,更换型号快捷方便
• 满足SECS/GEM通讯协议
• 测量数据自动存储，并可随时调取查看
• 测量精度±0.02mm
• 测量宽度100mm[图片]
• 软件采用拖拉式编程，操作方便、支持二次开发
适用产品
HPD、Econo等产品
| 技术参数 | |
| 设备尺寸（L×W×H） | 1000mm×900mm×1900mm |
| 设备重量 | 1000KG |
| UPH | ≥120pcs |
| 物料平台最大移动速度 | 500mm/s |
| 轨道高度 | 950±20mm（可定制） |
| 产品上下料方式 | Magazine、托盘 |
| 物料转运方式 | 人工小车、AGV、输送线 |
| 弧度检测方式 | 线扫激光 |
| 测量精度（在全量程下） | ±0.02mm |
| Z方向线性度（+/-% of MR） | 0.01% |
| Z方向重复性 | 0.5μm |
| 夹取方式 | 电动夹爪 |
| 工作电压 | 220V |
| 功率 | 3KW |
以上图片及参数仅供参考，实际以技术协议为准
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